Вакуумные масла для диффузионных насосов

Промышленностью освоена синтетическая углеводород­ная жидкость на основе алкилнафталинов — Алкарен-24. Ей свойственны низкое давление пара при комнатной тем­пературе, позволяющее получать предельное остаточное давление диффузионного насоса 10^-6...10⁷ Па, и более вы­сокая термоокислительная стойкость, чем у минеральных масел.

Выпускаются также кремнийорганические жидкости ПЭС-В-1 и ПЭС-В-2, представляющие собой узкие фракции полиэтилсилоксановой жидкости, и ПФМС-2/5л — узкая фракция полифенилметилсилоксановой жидкости.

Смесь метилфенилсилоксанов 133-88 (ПФМС-13) в 1,5 раза превосходит по окислительной стойкости жидкость ПФМС-2/5л. После освоения ее производства она должна заменить послед­нюю. Еще более воздухостойкая жидкость 133-35 (МФТ-1) на основе метилфенилциклотетрасилоксана — она в 2—3 раза превосходит жидкость 133-38 по термоокислительной стой­кости.

Все эти жидкости обладают низким давлением пара при комнатной температуре, что позволяет получить предельное остаточное давление насоса 10^-4...10^-6 Па.

Кремнийорганические жидкости ФМ-1 (пентафенилтрисилоксан) и ФМ-2 (гексафенилтетрасилоксан) обладают ультранизким давлением пара при комнатной температуре 10^-9 Па, что дает возможность получать в ходе рабо­ты насоса давление ниже 10-7 Па без применения ловушек, охлаждаемых жидким азотом. По термоокислительной стой­кости эти жидкости несколько уступают жидкости 133-35. Стоимость их в 100 раз выше стоимости минеральных масел.

Промышленностью освоены жидкости на основе полифениловых соединений: 5Ф4Э с давлением пара при ком­натной температуре ~10^-9 Па и М-5Ф4Э с давлением пара ~10-10 Па. Их отличает исключительно высокая термическая стабильность. В спектре остаточных газов насосов, работаю­щих на них, практически отсутствуют тяжелые углеводоро­ды. Однако по термоокислительной стойкости они несколько уступают кремнийорганическим жидкостям ФМ-1 и ФМ-2.

Недостатками этих жидкостей являются сравнительно вы­сокая температура застывания 277,4 К и кристаллизация на холодных поверхностях. Выпускается также некристаллизирующаяся полифениловая жидкость Н-ПФЭ с температурой застывания ниже 273 К и давлением пара при комнатной тем­пературе ~10-10 Па.

Для откачки агрессивных сред (кислорода, галогенов, их производных и др.) разработана высоковакуумная рабочая жидкость РЖВВ на основе перфторполиэфиров. Жидкость пожаро- и взрывобезопасна.

Иностранные вакуумные масла для высоковакуумных насосов

Alcatel 200, Alcatel 211, Alcatel 214, Alcatel 215, Alcatel 220, Santovac 5, Krytox 1625, Satorr 4, Satorr 5, Satorrlene, Duralene, Apiezon А, Apiezon В, Apiezon, Apiezon АР 301, Silicone 702, Silicone 704/F4, Silicone 705/F5, Fomblin, Edwards, Diffelent-leicht, Diffelent-normal, Diffelent-ultra, DC-704, DC-705, Ultralen, DC-702, AN 140, AN 175, UlvoilD-1, Convoil-20, Convoil-18, Convoil-10, Convalex-10, Octoil, Octoil-S, Balzers-oil 61, Balzers-oil 71, Neovac SX, Neovac SY, S-3105, Demnum S-20, Demnum S-65, Demnum S-100, Demnum S-200

Основные поставщики жидкостей — фирмы CIT Alcatel, Duravac, Edwards, Leybold-Heraeus, Balzers, Varian, CVC Products, Inc. и др.

Масло Alcatel 200 — хорошо очищенное минеральное, Alcatel 214 и 215 — жидкости на основе кремнийорганики (тетраметилтетрафенилтрисилоксан). Они обладают высокой термической и термоокислительной стойкостью. Область при­менения очень широкая. Alcatel 220 — синтетическая жид­кость на основе углеводородов нафталинового ряда, не ток­сична, не оказывает воздействия на обычные материалы, из которых изготовлено оборудование, и эластомеры, отличается очень низким давлением насыщенного пара. Alcatel 211 — перфторполиэфир типа жидкости Fomblin. Жидкость Santovac 5 на основе полифениловых эфиров разработана фир­мой Monsanto Chemical. Она в 35 раз дороже Alcatel 200 и в 1,2—3 раза дороже остальных жидкостей, выпускаемых этой фирмой.

Фирма Duravac Limited (Великобритания) специализиру­ется на выпуске синтетических рабочих жидкостей Satorr 4, Satorr 5, Satorrlene на основе углеводородов. Жидкость Satorrlene отличается особо низким давлением насыщенного пара (что позволяет получать в откачиваемом объеме давление по­рядка 10^-8 Па без применения азотных ловушек), малой ток­сичностью и малой величиной обратного потока. Поэтому она рекомендуется для применения при производстве особо чис­того от углеводородов спектра остаточных газов в системе со сверхвысоким вакуумом.

Окончательный выбор марки рабочей жидкости делают ис­ходя из результатов контрольных испытаний воздействия тех­нологических процессов на ее свойства: вязкость, плотность, температуру воспламенения, химический состав, коэффици­ент кислотности, нейтрализацию, рефракцию и давление на­сыщенного пара.

Масла для высоковакуумных струйных насосов